Направления подготовки
Кафедра технологии приборов и материалов электронной техники (ТП и МЭТ) Ивановского государственного химико-технологического университета (ИГХТУ) основана в 1957 году.
Исторически кафедра развивалась как центр подготовки специалистов для электронной и радиоэлектронной промышленности, с сильным упором на материаловедческую базу и технологические процессы формирования функциональных структур.
Направления подготовки (бакалавриат и магистратура)
-
11.03.04 / 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника»
- Профиль: технологии материалов и компонентов электроники
- Фокус: физические основы полупроводниковых приборов, тонкоплёночные технологии, методы осаждения и травления, контроль параметров слоёв
-
28.03.01 / 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника»
- Профиль: функциональные наноматериалы и устройства на их основе
- Фокус: синтез и характеризация наноматериалов, микро- и наноструктурирование, интеграция в микросистемы, методы диагностики (АСМ, РЭМ, спектроскопия)
Ключевые дисциплины
- Физические основы электроники и наноэлектроники
- Материаловедение и технология материалов электронной техники
- Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
- Методы диагностики и контроля качества материалов и структур
- Моделирование технологических процессов и приборных структур
- Основы проектирования микро- и наносистем
- Технология тонких плёнок и покрытий
- Микросистемная техника и сенсоры
Научно-исследовательская деятельность
Основные направления исследований кафедры:
- Разработка и оптимизация технологических маршрутов формирования функциональных слоёв для приборов электроники
- Синтез и исследование функциональных наноматериалов (оксиды, нитриды, композиты) для применений в датчиках, элементах памяти, оптоэлектронике
- Методы контроля и диагностики: профилометрия, эллипсометрия, электронная и зондовая микроскопия, спектральные методы
- Моделирование и расчёт параметров технологических процессов и характеристик приборных структур
- Интеграция материалов в микро- и наносистемы, включая сенсорные и исполнительные элементы
Практическая подготовка и инфраструктура
Студенты кафедры проходят практику на предприятиях электронной и приборостроительной отрасли, а также в научно-исследовательских лабораториях. Учебные и исследовательские лаборатории кафедры оснащены:
- Установками для осаждения тонких плёнок: термическое испарение, магнетронное распыление, CVD/PECVD (перечень зависит от текущей комплектации)
- Оборудованием для литографии и травления: сухое/мокрое травление, фотолитография
- Приборами для характеризации: профилометры, эллипсометры, микроскопы (оптические, электронные), зондовые станции
- Измерительными комплексами для электрофизических характеристик: вольт-амперные, вольт-фарадные характеристики, холловские измерения
Связь с отраслью и перспективы трудоустройства
Выпускники кафедры востребованы:
- На предприятиях микроэлектроники и полупроводникового производства
- В компаниях, разрабатывающих датчики, микросистемы и исполнительные устройства
- В исследовательских центрах и лабораториях материаловедения и нанотехнологий
- В организациях, занимающихся контролем качества, метрологией и испытаниями материалов и приборов
Особенности образовательной модели кафедры
- Практико-ориентированный подход: значительная часть учебного времени отведена лабораторным работам и проектным задачам
- Междисциплинарность: сочетание физики, химии, материаловедения, технологий и моделирования
- Проектная работа: студенты участвуют в реальных НИР, грантах и отраслевых задачах, что формирует портфолио и навыки командной работы